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流化床化學(xué)氣相沉積(FB CVD)
技術(shù)優(yōu)勢(shì)明顯:
傳熱傳質(zhì)效率高:流化床反應(yīng)器的傳熱和傳質(zhì)系數(shù)比傳統(tǒng)的固定床反應(yīng)器和移動(dòng)床反應(yīng)器高 1 個(gè)數(shù)量級(jí)以上,反應(yīng)更充分。
溫度控制均勻:反應(yīng)區(qū)溫度均勻,對(duì)于強(qiáng)熱效反應(yīng)的熱擴(kuò)散和熱補(bǔ)充有明顯優(yōu)勢(shì),在控溫反應(yīng)的溫度精度一致性上也有不可替代的優(yōu)勢(shì)。
單位產(chǎn)能大:能效和接觸充分,單位床層的生產(chǎn)能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)的固定床反應(yīng)器和移動(dòng)床反應(yīng)器。
易于物料處理:反應(yīng)區(qū)質(zhì)點(diǎn)均處于流動(dòng)態(tài),易于物料的加注和卸出,可提升能耗利用效率和生產(chǎn)效率。
自動(dòng)化程度高:設(shè)備采用自動(dòng)化控制,更加接近于商業(yè)化設(shè)備,性能穩(wěn)定性明顯提高。
能源領(lǐng)域應(yīng)用潛力大:在能源存儲(chǔ)與轉(zhuǎn)換方面,F(xiàn)B CVD 可用于制備三維石墨烯網(wǎng)絡(luò)等材料。如通過該工藝制備的三維石墨烯網(wǎng)絡(luò)作為鋰硫電池的電極,表現(xiàn)出良好的倍率性能和循環(huán)穩(wěn)定性,為大規(guī)模應(yīng)用三維石墨烯材料開辟了新途徑,隨著新能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,其需求有望增加。
納米材料制備優(yōu)勢(shì)突出:FB CVD 能夠?qū)崿F(xiàn)碳基精細(xì)粉末的均勻包覆,可用于制備各種復(fù)合材料,在電催化和鈉離子電池陽極等領(lǐng)域有潛在應(yīng)用。例如,通過該方法可合成錫硫族化合物與硬碳粉末的復(fù)合材料,這類材料在電子學(xué)領(lǐng)域,如光電子學(xué)、熱電學(xué)等方面具有較高的應(yīng)用潛力。
半導(dǎo)體制造需求增長(zhǎng):在半導(dǎo)體制造的先進(jìn)封裝環(huán)節(jié),F(xiàn)B CVD(可流動(dòng) CVD)因能填充納米級(jí)間隙,成為關(guān)鍵工藝。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,特別是先進(jìn)制程技術(shù)向 3nm 及以下節(jié)點(diǎn)突破,以及存儲(chǔ)芯片市場(chǎng)需求的復(fù)蘇,對(duì) FB CVD 設(shè)備的需求也將持續(xù)增長(zhǎng)。
環(huán)保領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊:相關(guān)研究表明,利用類似 FB CVD 的單階段浮動(dòng)催化劑 CVD 法制備的垂直排列碳納米管具有超疏水性能和對(duì)重金屬離子的吸附能力,在油水分離和水凈化等環(huán)保領(lǐng)域具有應(yīng)用潛力,有助于解決環(huán)境污染問題,符合未來環(huán)保產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。
設(shè)備工藝已經(jīng)成熟:儒佳科技在新材料領(lǐng)域進(jìn)行探索,十年磨一劍的不斷創(chuàng)新,逐漸形成以物理研磨和化學(xué)沉積方法的工藝設(shè)備的專業(yè)性新材料設(shè)備廠家。
